1、兩者的測試原理不同：直讀光譜儀是用電弧（火花）的高溫使樣品中各種元素從固態(tài)直接氣化并被激發(fā)而射出各元素的特征波長，經(jīng)光柵分光后，成為按波長排列的“光譜"，這些元素的特征光譜線通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經(jīng)儀器的控制測量系統(tǒng)將電信號積分并進行模/數(shù)轉換，然后由計算機處理，并計算出各元素的百分含量。X熒光光譜儀用X射線照射試樣，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。

2、直讀光譜儀要求試樣具有導電性，且只能是固體樣品，簡單地說就是直讀只能分析金屬固體樣品中的元素。而X射線熒光光譜儀對樣品要求不高，可以分析粉末樣品、固體樣品、液體樣品，不需要樣品具有導電性，金屬及非金屬樣品均可分析，XRF還可量測鹵素，用于測試RoHS中管制的元素分析，可以看出X熒光光譜儀適用范圍更廣，適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)。

3、直讀激發(fā)測試完樣品之后會破壞樣品表面，X熒光是無損檢測，測試完成后樣品不會發(fā)生變化。