X射線熒光光譜儀是光譜儀的一種，因采用X射線為檢測原理而因此得名，今天小編就來為大家講解下這款儀器的基本操作步驟和注意事項(xiàng)，供大家參考。

　　X射線熒光光譜儀基本的使用步驟：

　　1、開機(jī)

　　①開啟斷電保護(hù)開關(guān)，同時(shí)檢查有無異常現(xiàn)象，如有跳閘情況出現(xiàn)，應(yīng)查明原因；

　　②開啟穩(wěn)壓電源開關(guān)，如是UPS，則后面的旁路開關(guān)必須處于關(guān)閉狀態(tài)；

　　③開啟儀器主機(jī)電源開關(guān)，主機(jī)就緒后開啟計(jì)算機(jī)，打開儀器附件，連接就緒后運(yùn)行儀器工作站，檢查儀器連接有無異常，檢查儀器真空度。

　　④順時(shí)針90°擰動主機(jī)前的鑰匙開啟高壓開關(guān)，檢查X光管冷卻水流量、液氮的液位以及溫度，正常后開啟探測器高壓。

　　⑤儀器穩(wěn)定后對儀器進(jìn)行校正，了解儀器的運(yùn)行狀況。

　　2、關(guān)機(jī)

　　①樣品測試完畢，保存好測試文檔之后，關(guān)閉探測器高壓，逆時(shí)針90°擰動主機(jī)前的鑰匙關(guān)閉高壓開關(guān)，退出工作站，關(guān)閉所有運(yùn)行程序。

　　②關(guān)閉計(jì)算機(jī)主機(jī)。

　　③按順序依次關(guān)閉顯示器等儀器附件、儀器主機(jī)、穩(wěn)壓電源的電源開關(guān)，就緒后關(guān)閉總電源開關(guān)。

　　3、X光管的老化由于儀器停機(jī)時(shí)間太長或x光管初次使用時(shí)，馬上加載高壓大電流使用，容易損壞X光管，所以必須進(jìn)行X光管老化處理。如停機(jī)時(shí)間大于24h但小于100h，應(yīng)進(jìn)行0．5h的老化處理，如停機(jī)時(shí)間大于100h，應(yīng)進(jìn)行3h的老化處理。長時(shí)間不開高壓，開高壓時(shí)儀器會自動進(jìn)行3h的長時(shí)間老化。

　　4、填充液氮正常工作狀態(tài)下，應(yīng)根據(jù)液氮消耗情況按時(shí)填充液氮。采用增壓的方式填充液氮，填充液氮時(shí)，為防止液氮飛濺，液氮罐的出口壓力應(yīng)小于1MPa(0．5～1MPa)。當(dāng)液氮在已經(jīng)用完的情況下再填充時(shí)，為防止液氮罐內(nèi)部殘留的水滴結(jié)冰，影響探測器效率，要確保儀器液氮罐內(nèi)沒有水且探測器達(dá)到室溫1h后方可填充液氮。
 

　　X射線熒光光譜儀使用時(shí)的注意事項(xiàng)：

　　1、樣品檢測前，為了減少雜質(zhì)對結(jié)果的影響，應(yīng)該對樣品進(jìn)行盡可能的清潔處理。選用清潔試劑時(shí)，要極為慎重，以免對樣品產(chǎn)生影響。

　　2、為了防止樣品不同區(qū)域的狀態(tài)有所不同，需要對同一樣品多點(diǎn)測量，以提高測量的可信度，即注意采樣點(diǎn)的合理性。

　　3、對同一樣品進(jìn)行多次測試，以證明檢測方法的精密度。

　　4、初期的數(shù)據(jù)需要用不同的檢測方法和實(shí)驗(yàn)進(jìn)行比對，以保證測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性、可靠性。采用有損檢測方法例如化學(xué)分析法，這時(shí)候需要對不重要的樣品進(jìn)行分析、對比儀器的檢測結(jié)果。

　　5、選取標(biāo)樣時(shí)盡可能地與樣品的組成相近。

　　6、X射線熒光光譜法是一種表面分析技術(shù)，其分析結(jié)果受樣品表面大小、光潔度和幾何形狀的影響較大。校正公式和校正系數(shù)的建立也需要總結(jié)。